據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻氣行業上市公司股票有：
凱美特氣：
5月20日資金凈流出4026.78萬元，超大單凈流出1407.24萬元，換手率23.22%，成交金額16.11億元。
凱美特氣2025年第一季度公司總營收1.63億，毛利率36.38%，每股收益0.05元。
晶盛機電：
5月20日消息，資金凈流入464.52萬元，超大單凈流入579.94萬元，成交金額2.88億元。
2025年第一季度季報顯示，公司實現總營收31.38億， 毛利率27.57%，每股收益0.44元。
泛亞微透：
資金流向數據方面，5月20日主力資金凈流流出400.69萬元，超大單資金凈流出605.56萬元，大單資金凈流入204.87萬元，散戶資金凈流入84.22萬元。
2025年第一季度季報顯示，泛亞微透實現總營收1.31億元， 毛利率48.48%，每股收益0.34元。
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