據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股有：
海立股份（600619）：光刻機龍頭，
7月25日海立股份開盤報價15.5元，收盤于17.180元，漲9.99%。當日最高價為17.18元，最低達15.2元，成交量1.74億手，總市值為184.4億元。
控股子公司海立特冷有銷售光刻機用冷卻系統，該業務規模較小。
大族激光（002008）：光刻機龍頭，
截止7月25日收盤，大族激光(002008)跌1.67%，股價為26.420元，盤中股價最高觸及26.77元，最低達26.25元，總市值272.02億元。
王子新材（002735）：光刻機龍頭，
7月25日收盤消息，王子新材開盤報15.97元，截至13時03分，該股跌3.25%，報15.550元，總市值為59.4億元，PE為-86.39。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：7月25日收盤消息，東材科技開盤報價15.04元，收盤于16.190元。7日內股價上漲20.2%，總市值為145.19億元。
上海機電：7月25日消息，上海機電開盤報價24.42元，收盤于26.360元。5日內股價上漲14.64%，總市值為269.59億元。
萬業企業：7月25日收盤消息，萬業企業5日內股價上漲5.05%，截至14時36分，該股報14.850元，漲3.49%，總市值為138.2億元。
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