冠石科技（605588）：國產光刻機龍頭，
8月13日14時16分，冠石科技漲0.73%，報52.130元；5日內股價下跌0.65%，成交額2億元，市值為38.3億元。
ROA：-0.67%，毛利率10.68%，凈利率-1.14%；每股收益-0.21元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
同飛股份（300990）：國產光刻機龍頭，
同飛股份（300990）漲1.67%，報69.700元，成交額5.05億元，換手率9.45%，振幅漲1.89%。
同飛股份公司的毛利率22.06%，凈利率7.1%，2024年總營業收入21.6億，同比增長17.07%；扣非凈利潤1.46億，同比增長-14.07%。
液體恒溫設備。
茂萊光學（688502）：國產光刻機龍頭，
8月13日消息，茂萊光學7日內股價上漲2.23%，最新報346.650元，市盈率為513.94。
凈利3552.1萬、同比增長-23.98%，截至2025年05月18日市值為142.76億。
精密光學器件已應用于國產光刻機，包括用于勻光、中繼照明模塊的光學器件、投影物鏡，以及用于工件臺位移測量系統的棱鏡組件。
國產光刻機板塊概念股其他的還有：
百川股份（002455）：光刻機溶劑PMA。
上海新陽（300236）：ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電（300346）：ARF光刻膠獲部分客戶認證。
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