茂萊光學：龍頭，
在流動比率方面，從2021年到2024年，分別為1.98%、1.92%、5.3%、2.5%。
近30日茂萊光學股價上漲37.58%，最高價為448.88元，2025年股價上漲54.02%。
精密光學器件已應用于國產光刻機。
蘇大維格：龍頭，
在營業總收入同比增長方面，蘇大維格從2021年到2024年，分別為24.74%、-1.21%、0.4%、6.85%。
近30日股價上漲9.21%，2025年股價上漲8.66%。
福晶科技：龍頭，
2025年第一季度福晶科技凈利潤4991.45萬，同比增長3.36%；毛利潤為1.19億，毛利率49.76%。
近30日股價上漲25.9%，2025年股價上漲27.16%。
張江高科：龍頭，
張江高科2025年第一季度，公司實現凈利潤2.94億，同比增長147.38%；毛利潤為3.46億，毛利率28.36%。
張江高科在近30日股價上漲26.06%，最高價為38.25元，最低價為25.45元。當前市值為541.42億元，2025年股價上漲23.34%。
國產光刻機概念股其他的還有：
奧普光電：中科院長光所控股，國內高端光柵編碼器龍頭企業，布局超精尺，可用于光刻機。
百川股份：光刻機溶劑PMA。
上海新陽：ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電：ARF光刻膠獲部分客戶認證。
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