據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機概念龍頭股有：
同飛股份300990：
國產光刻機龍頭。8月28日開盤最新消息，同飛股份昨收70.3元，截至14時37分，該股漲5.23%報75.000元 。
8月28日該股主力資金凈流入1109.75萬元，超大單資金凈流出1071.64萬元，大單資金凈流入2181.39萬元，中單資金凈流入2436.74萬元，散戶資金凈流出3546.49萬元。
茂萊光學688502：
國產光刻機龍頭。8月28日開盤最新消息，茂萊光學7日內股價上漲18.92%，截至15點，該股漲13.71%報475.340元 。
8月28日該股主力凈入760.14萬元，其中資金流入方面：超大單凈入1.83億元，大單凈入3.22億元，中單凈入4.67億元，散戶凈入2.81萬元；資金流出方面：超大單凈出1.51億元，大單凈出3.46億元，中單凈出4.73億元，散戶凈出211.94萬元。
冠石科技605588：
國產光刻機龍頭。8月28日開盤消息，冠石科技漲1.72%，最新報57.280元，成交金額2.7億元，換手率6.52%，振幅漲3.67%。
8月28日消息，冠石科技8月28日主力凈流入3151.34萬元，超大單凈流入2271.19萬元，大單凈流入880.15萬元，散戶凈流出1275.5萬元。
海立股份600619：
國產光刻機龍頭。8月28日消息，海立股份資金凈流出1.79億元，超大單資金凈流入1.34億元，最新報24.060元，換手率15.11%，成交總金額28.07億元。
8月28日消息，海立股份主力資金凈流入1.79億元，超大單資金凈流入1.34億元，散戶資金凈流出1.47億元。
國產光刻機概念股其他的還有：
上海機電：近5日上海機電股價下跌1.97%，總市值下跌了5.83億，當前市值為295.47億元。2025年股價上漲37.97%。
東方明珠：近5個交易日，東方明珠期間整體上漲6.68%，最高價為9.7元，最低價為8.15元，總市值上漲了20.51億。
上海電氣：回顧近5個交易日，上海電氣有3天上漲。期間整體上漲5.34%，最高價為9.48元，最低價為8.47元，總成交量21.85億手。
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