據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股有：
華特氣體：光刻機龍頭，近5日股價上漲2.69%，2025年股價下跌-1.19%。
公司的光刻氣產品包括A/F/Ne、G/e、Ar/Ne和K/任F/Ne混合氣等，4種光刻氣均為國內唯一供應商﹐通過全球最大的光刻機公司ASML產品認證。
冠石科技：光刻機龍頭，近5日股價上漲2.85%，2025年股價上漲5.54%。
光刻機相關股票有：
強力新材：近5個交易日股價上漲9.44%，最高價為12.32元，總市值上漲了6.11億。
泰晶科技：近5個交易日，泰晶科技期間整體上漲4.3%，最高價為16.13元，最低價為14.82元，總市值上漲了2.65億。
怡達股份：近5日股價上漲2.17%，2025年股價上漲5.65%。
北方華創：在近5個交易日中，北方華創有2天上漲，期間整體上漲5.89%。和5個交易日前相比，北方華創的市值上漲了126.25億元，上漲了5.89%。
永新光學：近5日永新光學股價上漲15.6%，總市值上漲了18.76億，當前市值為120.25億元。2025年股價上漲13.28%。
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