據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機板塊龍頭有：
冠石科技（605588）：龍頭，
10月16日消息，冠石科技主力凈流出1231.72萬元，超大單凈流出215.19萬元，散戶凈流入1391.84萬元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
2023年報顯示，冠石科技實現凈利潤5221.6萬，同比增長-36.04%，近四年復合增長為-16.83%；每股收益0.71元。
福晶科技（002222）：龍頭，
資金流向數據方面，11月19日主力資金凈流流入2881.67萬元，超大單資金凈流入2890.9萬元，大單資金凈流出9.24萬元，散戶資金凈流出2677.19萬元。
研發的KBBF晶體為可直接倍頻產生EUV激光的非線性光學晶體。
福晶科技公司2023年實現凈利潤2.09億，同比增長-7.65%，近五年復合增長為11.65%；每股收益0.49元。
張江高科（600895）：龍頭，
7月5日消息，張江高科主力資金凈流出2156.7萬元，超大單資金凈流出2447.83萬元，散戶資金凈流入2957.92萬元。
全資子公司張江浩成創業投資有限公司持有上海微電子10.78%股份，上海微電子是國產光刻機龍頭。
張江高科公司2023年實現凈利潤9.48億，同比增長15.29%，近五年復合增長為12.93%；每股收益0.61元。
蘇大維格（300331）：龍頭，
11月19日消息，蘇大維格資金凈流入654.03萬元，超大單資金凈流出414.37萬元，換手率2.34%，成交金額9713.8萬元。
2023年報顯示，蘇大維格實現凈利潤-4568.79萬，同比上年增長率為83.63%。
海立股份（600619）：龍頭，
7月9日消息，海立股份7月9日主力資金凈流出308.48萬元，超大單資金凈流入30.1萬元，大單資金凈流出338.58萬元，散戶資金凈流入180.16萬元。
2023年，海立股份公司實現凈利潤3051.29萬，同比增長-13.94%，近三年復合增長為-69.26%；每股收益0.03元。
茂萊光學（688502）：龍頭，
7月18日消息，茂萊光學主力凈流入54.27萬元，超大單凈流入99.08萬元，散戶凈流入193.74萬元。
2023年，茂萊光學公司凈利潤4672.38萬，近五年復合增長為1.7%；毛利率51.89%，每股收益0.94元。
藍英裝備（300293）：龍頭，
11月19日該股主力凈流入1342.84萬元，超大單凈流入1681.77萬元，大單凈流出338.93萬元，中單凈流出805.3萬元，散戶凈流出537.54萬元。
2023年，公司實現凈利潤-2098.11萬，同比增長率為61.5%，近4年復合增長-51.49％。
同飛股份（300990）：龍頭，
7月31日消息，同飛股份7月31日主力凈流出176.34萬元，超大單凈流出101.89萬元，大單凈流出74.45萬元，散戶凈流入318.42萬元。
2023年報顯示，同飛股份實現凈利潤1.82億，同比上年增長率為42.69%，近5年復合增長25.27％。
國產光刻機板塊股票其他的還有：
南大光電300346：近7個交易日，南大光電上漲0.84%，最高價為37.65元，總市值上漲了1.84億元，2025年來下跌-0.92%。
賽微電子300456：近7日股價上漲2.58%，2025年股價上漲5.71%。
彤程新材603650：彤程新材近7個交易日，期間整體下跌1.5%，最高價為34.5元，最低價為37.27元，總成交量7266.66萬手。2025年來下跌-2.55%。
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