同飛股份（300990）：國產光刻機龍頭股，從公司近三年營業總收入來看，近三年營業總收入均值為12.27億元，過去三年營業總收入最低為2021年的8.29億元，最高為2023年的18.45億元。
液體恒溫設備。
回顧近30個交易日，同飛股份下跌14.51%，最高價為57.2元，總成交量1.08億手。
冠石科技（605588）：國產光刻機龍頭股，從近三年營業總收入來看，近三年營業總收入均值為11.33億元，過去三年營業總收入最低為2023年的8.94億元，最高為2021年的13.97億元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
近30日股價上漲20.94%，2025年股價上漲24.94%。
福晶科技（002222）：國產光刻機龍頭股，從公司近三年營業總收入來看，近三年營業總收入均值為7.46億元，過去三年營業總收入最低為2021年的6.89億元，最高為2023年的7.82億元。
研發的KBBF晶體為可直接倍頻產生EUV激光的非線性光學晶體。
近30日福晶科技股價下跌0.2%，最高價為39.95元，2025年股價上漲6.63%。
國產光刻機股票其他的還有：
百川股份（002455）：近7日股價上漲2.54%，2025年股價上漲9.56%。光刻機溶劑PMA。
上海新陽（300236）：上海新陽近7個交易日，期間整體下跌0.08%，最高價為36.1元，最低價為37.93元，總成交量2580.82萬手。2025年來下跌-3.12%。ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電（300346）：近7日股價下跌0.77%，2025年股價下跌-5.87%。ARF光刻膠獲部分客戶認證。
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