光刻機板塊龍頭股有哪些？據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機板塊龍頭股有：
三安光電600703：光刻機龍頭股。
近5個交易日股價上漲2.03%，最高價為12.96元，總市值上漲了12.97億。
海立股份600619：光刻機龍頭股。
微電子裝備集團的系統級合作商。
近5個交易日，海立股份期間整體上漲17.57%，最高價為17.36元，最低價為13.55元，總市值上漲了31.88億。
光刻機板塊股票其他的還有：
安泰科技000969：公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
中旗新材001212：2025年6月3日投資者關系活動記錄表顯示，公司的產品主要定位于未來的先進封裝技術，包括2.5D、3D封裝，以及面向人工智能應用的芯片制造所需的特殊設備的設計、開發與制造。目前，星空科技已初步形成了光刻機系列、納米壓印系列、芯片鍵合系列、硅片鍵合系列以及光學檢測系列等多個產品體系。
聯合精密001268：公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
紅寶麗002165：公司的主要產品是異丙醇胺，該產品可以應用于光刻膠清洗。
智光電氣002169：公司通過廣州譽芯眾誠股權投資合伙企業（有限合伙）（持股比例30%）間接參股廣州粵芯半導體技術有限公司80%股權，是粵芯的控股股東，粵芯項目是譽芯眾誠的主要投資項目。粵芯半導體一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。公司于2019年5月在互動平臺透露，粵芯半導體采購的是荷蘭ASML的光刻機，光刻機等主要設備已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房。
普利特002324：持股25%理碩科技股權，截至20年8月，標的目前正處于產品研發階段，主要方向是KrF和ArF、TFT、PSPI等光刻膠產品的企業；公司控股子公司上海普利特半導體材料投資了江蘇影速集成電路裝備1.27%的股權，該公司主要生產激光直寫的光刻機設備，主要應用在PCB、FPC、HDI和集成電路掩膜板。
永太科技002326：截至20年10月，公司光刻膠項目目前生產線已建成待商業化生產，公司正在積極與下游客戶商談合作，該項目產能為1500噸/年CF光刻膠。
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