冠石科技：龍頭股，
在營業總收入同比增長方面，從2020年到2023年，分別為32.32%、26.34%、-20.69%、-19.26%。
回顧近30個交易日，冠石科技下跌3.03%，最高價為62.99元，總成交量1.28億手。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
福晶科技：龍頭股，
福晶科技在歸屬凈利潤同比增長方面，從2020年到2023年，分別為6.81%、33.19%、18.3%、-7.65%。
福晶科技在近30日股價下跌24.8%，最高價為39.3元，最低價為38.01元。當前市值為144.88億元，2025年股價下跌-5.16%。
中K院旗下公司，光刻機的中堅力量，間接供貨荷蘭ASML公司光刻機激光光源晶體。
蘇大維格：龍頭股，
公司2024年第三季度營收同比增長-0.75%至4.63億元， 毛利率19.07%，凈利率1.58%。
近30日股價下跌35.78%，2025年股價下跌-28.14%。
海立股份：龍頭股，
2024年第三季度，海立股份公司營業總收入同比增長-0.06%至41.92億元；凈利潤為1850.88萬，同比增長146.95%，毛利潤為5.32億，毛利率12.7%。
近30日股價下跌15.78%，2025年股價下跌-15.97%。
國產光刻機概念股其他的還有：
百川股份：光刻機溶劑PMA。
上海新陽：ARF光刻膠處于客戶測試階段。
南大光電：ARF光刻膠獲部分客戶認證。
賽微電子：主營MEMS芯片工藝開發及晶圓制造，GaN外延材料研發生產及芯片設計。子公司Silex為全球光刻龍頭公司提供微鏡系統。
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