據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股上市公司有：
華特氣體：龍頭。
7月5日消息，華特氣體主力資金凈流出818.08萬元，超大單資金凈流出201.17萬元，散戶資金凈流入557.68萬元。
4月8日收盤消息，華特氣體開盤報價48.3元，收盤于54.170元。5日內股價上漲11.32%，總市值為65.21億元。
上海新陽：龍頭。
4月11日消息，資金凈流入679.84萬元，超大單凈流入1306.91萬元，成交金額3.6億元。
4月11日上海新陽3日內股價上漲3.51%，截至下午3點收盤，該股報35.850元漲3.61%，成交3.6億元，換手率3.63%。
張江高科：龍頭。
7月5日消息，張江高科7月5日主力凈流出2156.7萬元，超大單凈流出2447.83萬元，大單凈流入291.13萬元，散戶凈流入2957.92萬元。
4月11日張江高科3日內股價上漲2.71%，截至收盤，該股報25.440元漲0.43%，成交13.39億元，換手率3.4%。
光刻機上市公司其他的還有：
強力新材：在近7個交易日中，強力新材有3天下跌，期間整體下跌12.08%，最高價為13.4元，最低價為12.88元。和7個交易日前相比，強力新材的市值下跌了7.45億元。
泰晶科技：近7個交易日，泰晶科技下跌11.09%，最高價為15.71元，總市值下跌了6.15億元，下跌了11.09%。
怡達股份：回顧近7個交易日，怡達股份有4天上漲。期間整體上漲9.76%，最高價為14.1元，最低價為16.61元，總成交量2.01億手。
北方華創：在近7個交易日中，北方華創有3天上漲，期間整體上漲6.19%，最高價為469.33元，最低價為420.6元。和7個交易日前相比，北方華創的市值上漲了151.09億元。
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