南方財富網概念查詢工具財報工具數據整理，截至一季度，光刻機概念股票毛利潤排名中，上海電氣位列第一位，毛利潤達到40.66億元；北方華創排名第二，毛利潤為35.3億元；大族激光排名第三，毛利潤9.41億元。排名前10的還有：中微公司、海立股份、三安光電、盛美上海、雅克科技、華潤微、圣泉集團。
第一、上海電氣40.66億元
2024年第三季度，上海電氣公司實現總營收267.27億，同比增長5.67%；毛利潤48.64億，毛利率18.34%。
第二、北方華創35.3億元
2024年第三季度，公司實現總營收80.18億，同比增長30.12%；毛利潤33.88億，毛利率42.26%。
第三、大族激光9.41億元
公司2024年第三季度季報顯示，2024年第三季度實現總營收37.74億，同比增長14.34%；實現毛利潤13.3億，毛利率35.23%。
第四、中微公司9.03億元
公司2024年第三季度季報顯示，2024年第三季度實現總營收20.59億，同比增長35.96%；實現毛利潤9.01億，毛利率43.73%。
第五、海立股份7.43億元
公司2025年第一季度實現總營收67.53億，同比增長21.03%；實現毛利潤7.43億。
第六、三安光電7.04億元
公司2025年第一季度實現總營收43.12億，同比增長21.23%；實現毛利潤7.04億。
第七、盛美上海6.64億元
2024年第三季度季報顯示，公司實現總營收15.73億，同比增長37.96%；毛利潤7.09億，毛利率45.09%。
第八、雅克科技6.04億元
雅克科技2024年第三季度季報顯示，公司實現營業總收入17.43億元，同比增長42.93%；實現毛利潤5.31億元，毛利率30.5%。
第九、華潤微5.96億元
2024年第三季度，公司實現總營收27.11億，同比增長8.44%；毛利潤7.71億，毛利率28.43%。
第十、圣泉集團5.93億元
2024年第三季度，圣泉集團公司實現總營收25.26億，同比增長8.58%；毛利潤5.84億，毛利率23.14%。
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