據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機概念股龍頭股票有：
大族激光002008：
龍頭股，2023年大族激光公司營業總收入140.91億，凈利潤為4.65億元。
公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率較低，相關業務仍處于發展初期。
近7日大族激光股價下跌5.49%，2025年股價上漲9.78%，最高價為29.35元，市值為292.72億元。
奧普光電002338：
龍頭股，2023年奧普光電公司營業總收入7.73億，凈利潤為6646.46萬元。
回顧近7個交易日，奧普光電有5天上漲。期間整體上漲14.89%，最高價為37.2元，最低價為48.64元，總成交量1.75億手。
上海電氣601727：
龍頭股，2023年公司營業總收入1147.97億，凈利潤為-12.24億元。
回顧近7個交易日，上海電氣有4天下跌。期間整體下跌0.39%，最高價為7.62元，最低價為8.16元，總成交量8.93億手。
王子新材002735：
龍頭股，2023年公司營業總收入17.74億，凈利潤為4703.31萬元。
王子新材近7個交易日，期間整體上漲8.3%，最高價為9.41元，最低價為11.54元，總成交量4.71億手。2025年來上漲19.06%。
安泰科技：4月1日，安泰科技(000969)今日開盤報12.87元，收盤價為13.410元，漲3.89%，日換手率為5.27%，成交額為7.14億元，近5日該股累計下跌1.12%。公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
聯合精密：4月1日收盤消息，聯合精密（001268）漲0.28%，報21.400元，成交額5771.9萬元。公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
紅寶麗：4月1日消息，紅寶麗最新報價6.530元，3日內股價下跌1.04%；今年來漲幅上漲36.12%，市盈率為125.34。公司的主要產品是異丙醇胺，該產品可以應用于光刻膠清洗。
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