據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市公司龍頭股票有：
1、冠石科技（605588）：
公司募集資金投資項目為“光掩膜版制造項目”，主要產品為半導體光掩膜版，主要應用于IC領域。項目建成以后，將具備年產12，450片半導體光掩膜版的生產能力，產品制程覆蓋350-28nm。
2、大族激光（002008）：
公司的光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5微米，其中接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化，公司將根據市場需求及業務發展情況持續制定研發計劃，并加大研發核心部件國產化。
強力新材（300429）：近3日強力新材股價上漲0.61%，總市值上漲了5.85億元，當前市值為70.63億元。2025年股價上漲8.96%。
泰晶科技（603738）：泰晶科技（603738）3日內股價2天上漲，上漲2.57%，最新報16.76元，2025年來上漲10.62%。
怡達股份（300721）：近3日怡達股份上漲0.39%，現報12.84元，2025年股價上漲5.14%，總市值21.17億元。
北方華創（002371）：北方華創（002371）3日內股價2天上漲，上漲1.72%，最新報465.02元，2025年來上漲15.92%。
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