據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股上市公司有：
蘇大維格：龍頭。
3月27日消息，資金凈流入806.68萬元，超大單資金凈流出406.38萬元，成交金額1.11億元。
截至3月28日下午三點收盤，蘇大維格報20.460元，跌3.13%，換手率2.64%，成交量530.74萬手，市值為53.13億元。
康達新材：龍頭。
3月27日該股主力資金凈流出197.78萬元，大單資金凈流出197.78萬元，中單資金凈流入656.06萬元，散戶資金凈流出458.28萬元。
北京時間3月28日，康達新材開盤報價9.73元，跌2.67%，最新價9.460元。當日最高價為9.9元，最低達9.42元，成交量734.85萬，總市值為28.7億元。
藍英裝備：龍頭。
3月27日消息，藍英裝備資金凈流入3053.52萬元，超大單凈流入1600.99萬元，換手率6.67%，成交金額4.6億元。
3月28日消息，藍英裝備（300293）收盤跌0.75%，報23.820元/股，成交量1870.9萬手，換手率6.67%，振幅跌0.75%。
光刻機上市公司其他的還有：
強力新材：近7個交易日，強力新材上漲4.71%，最高價為12.3元，總市值上漲了3.27億元，2025年來上漲7.48%。
泰晶科技：在近7個交易日中，泰晶科技有4天下跌，期間整體下跌7.17%，最高價為17.41元，最低價為16.97元。和7個交易日前相比，泰晶科技的市值下跌了4.48億元。
怡達股份：怡達股份近7個交易日，期間整體上漲8.38%，最高價為13.3元，最低價為19.9元，總成交量2.75億手。2025年來上漲20.29%。
北方華創：近7個交易日，北方華創下跌3.14%，最高價為428元，總市值下跌了69.73億元，2025年來上漲5.99%。
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