據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機龍頭有：
冠石科技：國產光刻機龍頭。冠石科技2025年第一季度季報顯示，公司營收3.37億，同比增長22.32%；實現歸母凈利潤-936.43萬，同比增長-189.55%；每股收益為-0.13元。
冠石科技（605588）3日內股價2天上漲，上漲2.54%，最新報45.59元，2025年來上漲10.79%。
同飛股份：國產光刻機龍頭。公司2025年第一季度季報顯示，2025年第一季度實現凈利潤6190.69萬，同比增長1104.89%；毛利潤為1.46億，毛利率25.45%。
同飛股份在近3個交易日中有3天上漲，期間整體上漲3.5%，最高價為52.89元，最低價為49.58元。2025年股價上漲20.93%。
茂萊光學：國產光刻機龍頭。2025年第一季度季報顯示，公司營收1.42億，同比增長28.23%；實現歸母凈利潤1664.1萬，同比增長288.73%；每股收益為0.32元。
茂萊光學近3日股價有2天上漲，上漲1.26%，2025年股價上漲28.88%，市值為149.52億元。
海立股份：國產光刻機龍頭。海立股份2025年第一季度季報顯示，公司實現總營收67.53億元，同比增長21.03%； 毛利潤為7.43億元，凈利潤為729.18萬元。
海立股份（600619）3日內股價2天上漲，上漲1.44%，最新報12.48元，2025年來上漲2.24%。
福晶科技：國產光刻機龍頭。 2025年第一季度季報顯示，公司實現凈利潤4991.45萬元，毛利率49.76%，每股收益0.11元。
福晶科技（002222）3日內股價2天上漲，上漲3.44%，最新報33.87元，2025年來上漲4.85%。
藍英裝備：國產光刻機龍頭。 2025年第一季度季報顯示，藍英裝備實現營業總收入2.58億元， 同比增長-8.14%；凈利潤-500.36萬元，同比增長-687.55%。
回顧近3個交易日，藍英裝備有2天上漲，期間整體上漲3.86%，最高價為23.68元，最低價為24.99元，總市值上漲了3.25億元，上漲了3.86%。
張江高科：國產光刻機龍頭。2025年第一季度，公司營收同比增長24.41%至12.19億元，毛利率28.36%，凈利率23.33%。
近3日張江高科上漲1.66%，現報25.87元，2025年股價下跌-3.59%，總市值400.65億元。
蘇大維格：國產光刻機龍頭。公司2025年第一季度季報顯示，2025年第一季度總營收4.53億，毛利率20.89%，每股收益0.07元。
蘇大維格近3日股價有1天上漲，上漲1.54%，2025年股價下跌-0.65%，市值為55.8億元。
其他國產光刻機概念股：
華懋科技：近5個交易日，華懋科技期間整體上漲8.79%，最高價為44.98元，最低價為40.36元，總市值上漲了12.83億。
彤程新材：回顧近5個交易日，彤程新材有3天上漲。期間整體上漲0.5%，最高價為32.17元，最低價為31.58元，總成交量2020.54萬手。
清溢光電：在近5個交易日中，清溢光電有2天下跌，期間整體下跌0.04%。和5個交易日前相比，清溢光電的市值下跌了314.8萬元，下跌了0.04%。
炬光科技：近5日炬光科技股價上漲0.31%，總市值上漲了2246.49萬，當前市值為72.09億元。2025年股價上漲20.59%。
美埃科技：近5個交易日股價上漲1.04%，最高價為38.06元，總市值上漲了5241.6萬，當前市值為50.43億元。
富創精密：近5個交易日股價下跌1.27%，最高價為52.85元，總市值下跌了2.02億。
奧普光電：近5個交易日股價上漲1.69%，最高價為46.92元，總市值上漲了1.87億。
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