據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機概念龍頭有：
康達新材：光刻機龍頭股，
2月20日康達新材消息，該股13時43分報10.020元，漲1.42%，換手率4.25%，成交量1282.25萬手，今年來上漲3.89%。
2024年第三季度，公司凈利潤-1996.61萬，同比上年增長率為-432.07%。
藍英裝備：光刻機龍頭股，
2月20日開盤消息，藍英裝備5日內股價上漲0.94%，今年來漲幅上漲2.91%，最新報23.400元，成交額2.37億元。
2024年第三季度顯示，公司營收2.95億，同比增長-27.05%；實現歸母凈利潤-125.57萬，同比增長57.53%。
公司控股子公司UCMAG為荷蘭光刻機制造商ASML公司提供精密清洗解決方案，在某特定工藝上公司是其全球唯一供應商。
雅克科技：光刻機龍頭股，
2月20日訊息，雅克科技3日內股價上漲6.66%，市值為298.74億元，漲3.58%，最新報62.770元。
公司2024年第三季度季報顯示，雅克科技實現總營收17.43億，同比增長42.93%；凈利潤為2.29億，同比增長64.64%。
東方嘉盛：光刻機龍頭股，
2月20日開盤消息，東方嘉盛最新報價20.290元，漲0.7%，3日內股價上漲3.1%；今年來漲幅上漲0.99%，市盈率為24.45。
2024年第三季度顯示，公司總營收10.14億元，同比增長51.68%， 凈利率5.02%，毛利率12.87%。
光刻機股票其他的還有：
安泰科技：2月20日收盤，安泰科技漲3.25%，報12.380元；5日內股價上漲6.62%，成交額8.19億元，市值為130.08億元。
公司并不直接涉及光刻機領域，但公司相關產品可用于國外某型號光刻機設備。
聯合精密：2月10日開盤消息，聯合精密今年來漲幅上漲10%，截至14時13分，該股跌1.64%，報19.400元，總市值為20.94億元，PE為34.04。
公司在建工程中包括光刻機零部件鑄件項目。
智光電氣：2月20日收盤，智光電氣跌0.65%，報6.130元；5日內股價下跌0.65%，成交額6544.85萬元，市值為47.98億元。
公司通過廣州譽芯眾誠股權投資合伙企業（有限合伙）（持股比例30%）間接參股廣州粵芯半導體技術有限公司80%股權，是粵芯的控股股東，粵芯項目是譽芯眾誠的主要投資項目�；浶景雽w一期以90nm-180nm技術產品為主，二期以65nm-90nm技術產品為主。公司于2019年5月在互動平臺透露，粵芯半導體采購的是荷蘭ASML的光刻機，光刻機等主要設備已于2019年3月中旬搬進粵芯半導體主廠房。
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