據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機股票龍頭股有：
蘇大維格（300331），國產光刻機龍頭股。
5月22日開盤消息，蘇大維格（300331）跌1.05%，報20.630元，成交額1.02億元，換手率2.37%，成交量488.02萬手。
國內領先的微納光學制造商，向SMEE提供定位光柵部件，光柵尺周期精度小于1nm，納米壓印技術國內領先。
同飛股份（300990），國產光刻機龍頭股。
截至5月22日12時48分，同飛股份報45.400元，漲0.63%，換手率2.45%，成交量189.82萬手，市值為76.91億元。
液體恒溫設備。
冠石科技（605588），國產光刻機龍頭股。
截止5月22日12時11分，冠石科技(605588)跌0.19%，股價為47.770元，盤中股價最高觸及48.9元，最低達47.86元，總市值35.1億元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
國產光刻機概念股其他的還有：
旭光電子：5月22日開盤消息，旭光電子5日內股價下跌5.15%，截至下午3點收盤，該股報9.120元，漲1.67%，總市值為75.69億元。
華懋科技：報41.650元/股。
清溢光電：5月20日消息，清溢光電7日內股價下跌5.74%，最新報25.800元，成交額5387.86萬元。
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