據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機上市龍頭企業有：
芯源微688037：龍頭。近7個交易日，芯源微下跌5.38%，最高價為97.17元，總市值下跌了10.04億元，下跌了5.38%。
2024年芯源微營業收入17.54億，同比增長2.13%。
國內唯一覆蓋前道涂膠顯影與后道封裝光刻設備的企業，技術對標日本TEL。行業地位：2024年國產光刻機配套設備市占率超60%，客戶涵蓋中芯、華虹等。增長潛力：先進封裝設備需求激增，訂單排期已至2025年。
東方嘉盛002889：龍頭。回顧近7個交易日，東方嘉盛有4天下跌。期間整體下跌1.3%，最高價為20.12元，最低價為20.41元，總成交量1559.83萬手。
2024年營業收入35.58億，同比增長31.79%。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：5月28日開盤消息，東材科技5日內股價下跌3.22%，截至14時27分，該股報9.000元，跌0.88%，總市值為80.71億元。
萬業企業：5月28日消息，萬業企業3日內股價下跌0.94%，最新報13.770元，跌0.93%，成交額5594.86萬元。
電科數字：5月28日開盤消息，電科數字最新報價22.860元，跌0.91%，3日內股價下跌2.06%；今年來漲幅下跌-4.55%，市盈率為28.57。
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