據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻晶圓概念股有：
泰晶科技（603738）：5月29日，泰晶科技（603738）5日內股價上漲1.1%，今年來漲幅下跌-10.31%，漲2.1%，最新報13.580元/股。
泰晶科技消息，公司最新研制的用于光刻工程的高精度配套設備―全自動晶圓調頻及測選機，近日又取得新突破，該設備適用于光刻晶圓頻率調整及分測，配合基于半導體技術的光刻制程量產及質量提升。這一設備的研制成功，不僅填補了行業空白，而且保證了關鍵性技術的保密性，為公司正在進行的大規模擴產提供了更優的方案。
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