據南方財富網概念查詢工具數據顯示，光刻機龍頭股有：
奧普光電（002338）：光刻機龍頭股，
6月3日消息，奧普光電3日內股價上漲0.61%，最新報42.900元，漲0.63%，成交額1361.48萬元。
公司生產的CaF2晶體材料未用于光刻機物鏡上。
藍英裝備（300293）：光刻機龍頭股，
6月3日消息，藍英裝備最新報價20.870元，3日內股價下跌2.6%；今年來漲幅下跌-9.23%，市盈率為-347.83。
芯源微（688037）：光刻機龍頭股，
6月3日開盤消息，芯源微（688037）股價報92.720元/股，漲2.16%。7日內股價下跌3.35%，今年來漲幅上漲8.43%，成交總金額844.59萬元，成交量9.19萬手。
光刻機概念股其他的還有：
東材科技：6月3日開盤消息，東材科技3日內股價下跌0.11%，最新報9.010元，成交額180.1萬元。
萬業企業：總市值128.33億元。
電科數字：6月3日消息，電科數字7日內股價下跌1.08%，最新報23.240元，成交額268.91萬元。
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