據南方財富網概念查詢工具數據顯示，國產光刻機股票龍頭股有：
冠石科技：國產光刻機龍頭，近7日冠石科技股價下跌2.88%，2025年股價上漲26.68%，最高價為61.64元，市值為40.84億元。
根據公司規劃2025年45nm掩膜板量產，2028年28nm掩膜版量產。
福晶科技：國產光刻機龍頭，回顧近7個交易日，福晶科技有5天上漲。期間整體上漲10.14%，最高價為41.39元，最低價為46.88元，總成交量1.42億手。
在晶體材料領域有技術優勢，為光刻機提供核心材料，以優質的晶體材料研發生產，增強國產光刻機的材料自主保障能力。
同飛股份：國產光刻機龍頭，近7日股價上漲4.01%，2025年股價上漲49.71%。
茂萊光學：國產光刻機龍頭，近7個交易日，茂萊光學上漲16.26%，最高價為369.43元，總市值上漲了38.68億元，上漲了16.26%。
國產光刻機概念股其他的還有：
上海機電：8月29日收盤最新消息，上海機電7日內股價下跌6.25%，截至15點收盤，該股漲2.98%報29.750元 。
東方明珠：8月29日，東方明珠(600637)今日開盤報9.14元，收盤價為8.860元，跌2.85%，日換手率為2.47%，成交額為7.44億元，近5日該股累計下跌5.76%。
上海電氣：8月29日，上海電氣(601727)15時股價報8.870元，跌1.33%，市值為1378.41億元，換手率3.03%，當日成交額34.28億元。
華懋科技：8月29日收盤消息，華懋科技（603306）漲1.47%，報55.100元，成交額6.42億元。
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